软件操作规格酸的选择 ：//混酸注意: 所有混合比例都是在泵系统内部动态准备的。混酸比例 (到酸比例)： 9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1刻蚀后冲洗选择：//混酸/无冲洗注意: 酸的冲洗温度设定是根据刻蚀温度自动校准的。刻蚀时间： 1 - 1,800 seconds ( 1秒的增加幅度)注意: 刻蚀时间能够在刻蚀期间动态调整。 刻蚀形式 - (i) 脉冲刻蚀(ii) 往复刻蚀 – 酸脉动刻蚀温度范围 20℃- 90℃ ()20 - 250℃(酸)20 - 100℃ (混酸)刻蚀剂流量选择 -1 - 6 ml.每分钟（所有酸和混酸）

操作程序存储 -100 个程序存储，非易丢失存储器软件升级通过rs232或usb连接电脑安全设计特点emo紧急停电源开关刻蚀头安全：超温保护传感器电路泄露检查传感器： (i) 开封机主体；(ii) 酸瓶盒组件二级防护：真正的二级防护酸烟雾降低：废酸热交换以***小化酸烟雾认证和 行业规范rohscesemi s-2semi s- 2, 93系统维护rkd 酸开封机的日常系统维护是非常简单并且是自执行的。通过从手持键盘控制器上选择维护程序，大多数的维护程序都可以运行，包括 -温度校准光学传感器校准阀的操作压鼻操作低温气体供应和排出功能(elite etch从不使用高或低压调压阀，它仅需直接连接到管路上。)